[实用新型]一种载板

说明书

本实用新型提供了一种载板，包括：载板主体和垫片，垫片的材质包括玻璃材质；载板主体的一面设置有至少一个承载凹槽，垫片设置在承载凹槽的底部，且垫片的厚度小于承载凹槽的深度，垫片背离承载凹槽的底部的一面用于承载硅片。本实用新型实施例中，在载板主体的承载凹槽底部设置用于与硅片接触的垫片，可以避免硅片与承载凹槽的底部直接接触，由于垫片的材质包括玻璃材质，其材质致密，对气体的吸附较小，从而降低了在对硅片进行镀膜时释放的气体量，进而降低了对硅片的污染。另外，玻璃材质的垫片的表面光滑，降低了对硅片的磨损。

技术领域

本实用新型涉及光伏技术领域，尤其涉及一种载板。

背景技术

在太阳能电池片的制备过程中，通常都有等离子体增强化学的气相沉积法(PECVD，Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)镀膜的工艺环节，该工艺环节是对载板上承载的硅片进行镀膜。

目前，参照图1，其示出了一种载板的截面图，其中，硅片2可以设置在载板1上的凹槽3中，载板1具有以下要求：载板1能够耐高温；载板1不易碎，可以重复使用；载板1具有良好的机械加工性；载板1对加工环境中的电场干扰较小。针对上述要求，载板1通常选用石墨、碳纤维、碳-碳等材质。

但是，目前方案中，由于石墨、碳纤维、碳-碳等材质的载板1实际的致密度较低，容易吸附气体，进而会在镀膜过程中引入杂质，影响硅片2的镀膜效果；另外，载板1的表面粗糙，容易磨损硅片接触面。

实用新型内容

本实用新型提供一种载板，以解决现有技术中载板容易吸附气体，会在镀膜过程中引入杂质，且载板的表面粗糙，容易磨损硅片接触面的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种载板，所述载板包括：

载板主体和垫片，所述垫片的材质包括玻璃材质；

所述载板主体的一面设置有至少一个承载凹槽，所述垫片设置在所述承载凹槽的底部，且所述垫片的厚度小于所述承载凹槽的深度，所述垫片背离所述承载凹槽的底部的一面用于承载硅片。

可选的，所述垫片的宽度与所述承载凹槽的宽度相同。

可选的，所述垫片的宽度小于所述承载凹槽的宽度。

可选的，在所述垫片的宽度小于所述承载凹槽的宽度的情况下，所述承载凹槽的底部设置有两个台阶，且所述两个台阶相对设置在靠近所述承载凹槽的两个侧壁的位置处；

所述台阶的高度与所述垫片的厚度相同。

可选的，所述垫片通过固定螺栓可拆卸设置在所述承载凹槽的底部。

可选的，所述固定螺栓的数量为2，所述固定螺栓包括：螺杆和与所述螺杆一端连接的螺栓头部；

2个所述固定螺栓相对设置在所述垫片的两侧；所述固定螺栓的螺杆穿过所述垫片和所述承载凹槽的底部，2个所述固定螺栓的螺栓头部之间的距离与所述硅片的宽度相同。

可选的，所述固定螺栓的材质包括：石墨材质、碳碳材质、碳纤维材质中的任意一种。

可选的，所述载板主体的材质包括：石墨材质、碳碳材质、碳纤维材质中的任意一种。

可选的，所述垫片背离所述承载凹槽的底部的一面的粗糙度，小于所述承载凹槽的底部的粗糙度。