[实用新型]一种载板

权利要求书

1.一种载板，其特征在于，所述载板包括：

载板主体和垫片，所述垫片的材质包括玻璃材质；

所述载板主体的一面设置有至少一个承载凹槽，所述垫片设置在所述承载凹槽的底部，且所述垫片的厚度小于所述承载凹槽的深度，所述垫片背离所述承载凹槽的底部的一面用于承载硅片。

2.根据权利要求1所述的载板，其特征在于，所述垫片的宽度与所述承载凹槽的宽度相同。

3.根据权利要求1所述的载板，其特征在于，所述垫片的宽度小于所述承载凹槽的宽度。

4.根据权利要求3所述的载板，其特征在于，在所述垫片的宽度小于所述承载凹槽的宽度的情况下，所述承载凹槽的底部设置有两个台阶，且所述两个台阶相对设置在靠近所述承载凹槽的两个侧壁的位置处；

所述台阶的高度与所述垫片的厚度相同。

5.根据权利要求1所述的载板，其特征在于，所述垫片通过固定螺栓可拆卸设置在所述承载凹槽的底部。

6.根据权利要求5所述的载板，其特征在于，所述固定螺栓的数量为2，所述固定螺栓包括：螺杆和与所述螺杆一端连接的螺栓头部；

2个所述固定螺栓相对设置在所述垫片的两侧，所述固定螺栓的螺杆穿过所述垫片和所述承载凹槽的底部，2个所述固定螺栓的螺栓头部之间的距离与所述硅片的宽度相同。

7.根据权利要求5或6所述的载板，其特征在于，所述固定螺栓的材质包括：石墨材质、碳碳材质、碳纤维材质中的任意一种。

8.根据权利要求1至6任一所述的载板，其特征在于，所述载板主体的材质包括：石墨材质、碳碳材质、碳纤维材质中的任意一种。

9.根据权利要求1至6任一所述的载板，其特征在于，所述垫片背离所述承载凹槽的底部的一面的粗糙度，小于所述承载凹槽的底部的粗糙度。