[实用新型]一种多用途半导体加工处理设备

摘要

本实用新型公开了一种多用途半导体加工处理设备，包括加工处理设备，加工处理设备上安装有吸真空泵，吸真空泵的入口端连接有过滤装置，过滤装置包括相互配合的第一罐体和第二罐体，第一罐体和第二罐体的底端均设有开口，第一罐体和第二罐体的底端均螺纹连接有密封底盖，第一罐体和第二罐体顶端的内侧壁上分别固定安装有第一安装框和第二安装框，第一安装框和第二安装框的内侧壁上分别安装有精密滤网和滤膜。本实用新型中在吸真空泵的入口端设置有过滤装置，可以对被吸入吸真空泵内的气体进行过滤，从而避免切筋时产生的杂质被吸真空泵吸入后导致吸真空泵的工作效果变差和损坏吸真空泵，设计合理，实用效果好。