[实用新型]单晶硅半导体晶圆有效
申请号: | 202020922851.2 | 申请日: | 2020-05-27 |
公开(公告)号: | CN214026490U | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | G·皮奇;P·威斯纳 | 申请(专利权)人: | 硅电子股份公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D5/04 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 刘佳斐 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本实用新型主题是一种单晶硅半导体晶圆。该单晶硅半导体晶圆包括不大于7μm的波纹度指数Wav |
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搜索关键词: | 单晶硅 半导体 | ||
【主权项】:
暂无信息
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