[实用新型]一种振膜以及微机电系统麦克风有效
| 申请号： | 202020843869.3 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN212259332U | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 孙恺;荣根兰;胡维 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R7/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215002 江苏省苏州市苏州工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种振膜以及微机电系统麦克风，该振膜包括：振膜包括第一表面以及与第一表面相对设置的第二表面；振膜上设置有泄气结构，泄气结构包括多个相同的泄气孔，泄气孔的纵截面图形在第一表面的边长与泄气孔的纵截面图形在第二表面的边长不相等。本实用新型实施例提供的技术方案，泄气孔的纵截面图形在第一表面的边长与泄气孔的纵截面图形在第二表面的边长中短边增加泄气孔对空气的阻尼，以改善MEMS麦克风芯片的频率响应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 以及 微机 系统 麦克风 | ||
【主权项】：
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