[实用新型]一种离子源的汽化器

摘要

本实用新型公开了一种离子源的汽化器，包括有坩埚、壳体、电弧室，壳体内竖直向上设置有第一凹槽，侧面设置有加热器，坩埚底部向下与第一凹槽连接，坩埚顶部对应设置有盖体，盖体内设置有第一气体通道、排气孔，盖体的边缘垂直向下设置有环状挡板，环状挡板与坩埚之间形成第二气体通道、与壳体之间行成第三气体通道，第一气体通道、第二气体通道连通、第三气体通道依次连通，盖体上方设置有盖板，盖板与盖体之间形成第四气体通道，第三气体通道与第四气体通道连通，盖板上设置有与电弧室连接的气体喷嘴。本实用新型提供的一种离子源的汽化器，避免了冷凝会造成流向离子源的蒸汽量减少，冷凝引起的堵塞会阻止蒸汽流向离子源的问题。