[实用新型]一种离子源的汽化器

权利要求书

1.一种离子源的汽化器，其特征在于：包括有坩埚(1)、壳体(2)、电弧室(10)，所述壳体(2)内部竖直向上设置有第一凹槽(4)，所述坩埚(1)底部向下与第一凹槽(4)螺纹连接，所述坩埚(1)的顶部对应设置有盖体(5)，所述盖体(5)内设置有第一气体通道(14)，所述盖体(5)上设置有与所述第一气体通道(14)连通的排气孔(9)，所述盖体(5)的边缘垂直向下设置有环状挡板(6)，所述环状挡板(6)与坩埚(1)之间形成第二气体通道(7)、与壳体(2)之间行成第三气体通道(8)，所述第一气体通道(14)与第二气体通道(7)连通，所述第二气体通道(7)与第三气体通道(8)连通，所述盖体(5)正上方设置有盖板(15)，所述盖板(15)与壳体(2)的开口契合，所述盖板(15)与盖体(5)之间形成第四气体通道(16)，所述第三气体通道(8)与第四气体通道(16)连通，所述盖板(15)上设置有气体喷嘴(3)，所述气体喷嘴(3)与第四气体通道(16)连通，所述气体喷嘴(3)下端与壳体(2)螺纹连接，另一端与电弧室(10)连接，所述壳体(2)的侧面设置有加热器(11)。

2.根据权利要求1所述的一种离子源的汽化器，其特征在于：所述壳体(2)底部设置有开口向下的第二凹槽(12)，所述第二凹槽(12)位于第一凹槽(4)的正下方。

3.根据权利要求2所述的一种离子源的汽化器，其特征在于：所述第二凹槽(12)内设置有温度测试装置(13)，所述温度测试装置(13)的测温端与第一凹槽(4)的底面接触。

4.根据权利要求2或3所述的一种离子源的汽化器，其特征在于：所述第二凹槽(12)连接有压缩空气源。

5.根据权利要求1所述的一种离子源的汽化器，其特征在于：所述盖体(5)与环状挡板(6)一体成型。

6.根据权利要求1所述的一种离子源的汽化器，其特征在于：所述加热器(11)为铠装加热器。

7.根据权利要求1所述的一种离子源的汽化器，其特征在于：所述第二气体通道(7)为围绕坩埚(1)的空心圆柱形气体通道，所述第三气体通道(8)为围绕环状挡板(6)的空心圆柱形气体通道。

8.根据权利要求1所述的一种离子源的汽化器，其特征在于：所述坩埚(1)底面与第一凹槽(4)底面之间留有一定空间。