[实用新型]具有温度补偿的管式PECVD装置

摘要

本实用新型公开了一种具有温度补偿的管式PECVD装置，包括工作台室、主机室及气源柜，工作台室内部设有一套机械驱动机构，机械驱动机构上安装至少一个推拉舟，推拉舟上放置有两个以上对接的石墨舟，主机室内至少具有一个工艺腔室，工艺腔室的内壁为石英管，石英管的外周沿轴向套设石英套管，石英套管外部为加热炉体，石墨舟进入工艺腔室后，加热炉体对应石墨舟对接的部位设置有加热电阻丝和对接部温度控制系统。本实用新型使工艺腔室内的温度趋于相同，解决硅片沉积薄膜质量受温度变化影响等问题。