[实用新型]具有温度补偿的管式PECVD装置

权利要求书

1.一种具有温度补偿的管式PECVD装置，其特征在于：包括工作台室、主机室及气源柜，工作台室内部设有一套机械驱动机构，机械驱动机构上安装至少一个推拉舟（3），推拉舟（3）上放置有两个以上对接的石墨舟（4），主机室内至少具有一个工艺腔室，工艺腔室的内壁为石英管，石英管的外周沿轴向套设石英套管，石英套管外部为加热炉体（2），石墨舟（4）进入工艺腔室后，加热炉体（2）对应石墨舟（4）对接的部位设置有加热电阻丝和对接部温度控制系统。

2.根据权利要求1所述的具有温度补偿的管式PECVD装置，其特征在于：对接部温度控制系统与加热电阻丝对应连接，对加热电阻丝进行单独温度控制。

3.根据权利要求1所述的具有温度补偿的管式PECVD装置，其特征在于：当推拉舟（3）上的石墨舟（4）为两个时，工艺腔室的长度方向对应两个石墨舟（4）的位置分别为前段、对接部和后段三个温区，加热炉体（2）对应的部位设有前段温度控制系统、对接部温度控制系统以及后段温度控制系统。

4.根据权利要求3所述的具有温度补偿的管式PECVD装置，其特征在于：加热炉体（2）上安装有对应的多个加热电阻丝和多个外热电偶，所述多个加热电阻丝和多个外热电偶通过对应的温度控制系统分为三组连接。

5.根据权利要求4所述的具有温度补偿的管式PECVD装置，其特征在于：对接部温度控制系统与对接部的加热电阻丝对应连接，对接部温度控制系统的外热电偶与对应的温控表的输入端连接，所述加热电阻丝与对应的可控硅的输出端连接，温控表的输出端通过触发电路与可控硅的输入端连接，构成对接部控制回路。

6.根据权利要求5所述的具有温度补偿的管式PECVD装置，其特征在于：前段温度控制系统与前段若干个加热电阻丝对应连接，前段温度控制系统中的若干个外热电偶与逐个对应的温控表的输入端连接，所述若干个加热电阻丝与各自对应的可控硅的输出端连接，所述若干个温控表的输出端通过触发电路与所述若干个可控硅的输入端连接，构成前段控制回路。

7.根据权利要求6所述的具有温度补偿的管式PECVD装置，其特征在于：后段温度控制系统与后段若干个加热电阻丝对应连接，后段温度控制系统中的若干个外热电偶与逐个对应的温控表的输入端连接，所述若干个加热电阻丝与各自对应的可控硅的输出端连接，所述若干个温控表的输出端通过触发电路与所述若干个可控硅的输入端连接，构成后段控制回路。

8.根据权利要求7所述的具有温度补偿的管式PECVD装置，其特征在于：在工艺腔室内设置有内热电偶，内热电偶分别与所述前段温度控制系统、对接部温度控制系统以及后段温度控制系统的多个温控表的输入端连接。

9.根据权利要求3所述的具有温度补偿的管式PECVD装置，其特征在于：前段温度控制系统、对接部温度控制系统以及后段温度控制系统均通过总线与PLC控制器连接，PLC控制器通过以太网与上位机连接。

10.根据权利要求1所述的具有温度补偿的管式PECVD装置，其特征在于：工艺腔室的第一端（5）为进石墨舟（4）的炉口，第一端（5）的炉口与推拉舟（3）具有的工艺腔室盖紧密配合，第二端（1）与气源柜以及外部的尾气处理装置连通。