[实用新型]可精细控制温度的晶圆蒸发台

摘要

本实用新型公开了可精细控制温度的晶圆蒸发台，包括真空蒸发器本体与设置在真空蒸发器本体上的真空泵，所述真空泵的外侧设置有吸音机构，所述吸音机构包括直角板与四个金属吸音板，所述直角板上设置有若干凸起筋，且凸起筋上设置有第一六角螺丝，相邻的两个所述金属吸音板之间设置有第一直角片，且第一直角片上设置有两个第二六角螺丝，所述直角板的底部贯穿有排气管，所述直角板一侧贯穿有第一导管，且真空泵上设置有第二导管，所述直角板的一侧通过第一螺栓固定安装有直角盒，且直角盒的内部设置有内腔。本实用新型利用多个金属吸音板实现对噪音的吸收，避免了噪音污染，同时实现了真空泵的快速散热，安全性高，实用性强。