[实用新型]可精细控制温度的晶圆蒸发台

权利要求书

1.可精细控制温度的晶圆蒸发台，包括真空蒸发器本体(1)与设置在真空蒸发器本体(1)上的真空泵(2)，其特征在于，所述真空泵(2)的外侧设置有吸音机构(3)，所述吸音机构(3)包括直角板(4)与四个金属吸音板(5)，所述直角板(4)上设置有若干凸起筋(6)，且凸起筋(6)上设置有第一六角螺丝(7)，相邻的两个所述金属吸音板(5)之间设置有第一直角片(8)，且第一直角片(8)上设置有两个第二六角螺丝(9)，所述直角板(4)的底部贯穿有排气管(10)，所述直角板(4)一侧贯穿有第一导管(11)，且真空泵(2)上设置有第二导管(12)，所述直角板(4)的一侧通过第一螺栓固定安装有直角盒(13)，且直角盒(13)的内部设置有内腔(14)，所述直角盒(13)上设置有第二直角片(15)，且第二直角片(15)上开设有若干透气孔(16)，所述第二直角片(15)通过安装螺钉(17)固定安装在直角盒(13)上，所述直角盒(13)的顶部固定有进气管(18)。

2.根据权利要求1所述的可精细控制温度的晶圆蒸发台，其特征在于，所述排气管(10)与直角板(4)焊接连接，且排气管(10)的上端外表面与直角板(4)的上端外表面相平齐。

3.根据权利要求1所述的可精细控制温度的晶圆蒸发台，其特征在于，相邻的两个所述金属吸音板(5)通过两个第二六角螺丝(9)与第一直角片(8)固定连接，所述金属吸音板(5)通过第一六角螺丝(7)与凸起筋(6)固定连接。

4.根据权利要求1所述的可精细控制温度的晶圆蒸发台，其特征在于，所述第一导管(11)的一端与真空蒸发器本体(1)的真空室相连通，且第一导管(11)的另一端与真空泵(2)的进风端相连通，所述第二导管(12)的一端与真空泵(2)的出风端相连通，且第二导管(12)的另一端与进气管(18)相连通。

5.根据权利要求1所述的可精细控制温度的晶圆蒸发台，其特征在于，所述真空泵(2)通过第二螺栓固定安装在直角板(4)上。

6.根据权利要求1所述的可精细控制温度的晶圆蒸发台，其特征在于，所述直角板(4)的底部安装有四个万向轮(19)，四个所述万向轮(19)分别位于直角板(4)底端外表面的四个拐角处。