[实用新型]一种内腔件去应力退火防氧化装置有效
| 申请号： | 202020348990.9 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN211921681U | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 刘振清;王立民 | 申请（专利权）人： | 唐山市丰南区合利热处理有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/16 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 刘晓晖 |
| 地址： | 063300 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种内腔件去应力退火防氧化装置，包括防氧化炉、真空泵、全面接收装置和防氧化蒸射装置，所述防氧化炉为中空腔体设置，所述全面接收装置设于防氧化炉内上方，所述防氧化蒸射装置设于防氧化炉内底部，所述真空泵设于防氧化炉上，所述防氧化蒸射装置包括电子束加热器和加热盛放皿，所述电子束加热器设于防氧化炉底部，所述加热盛放皿设于电子束加热器上，所述加热盛放皿内设有耐氧化原料。本实用新型属于金属热处理技术领域，具体是提供了一种通过电子束加热器对耐氧化原料的轰击，使其迅速升华气化，而通过内腔件全方面承接凝结形成防氧化镀膜的内腔件去应力退火防氧化装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 内腔件去 应力 退火 氧化 装置 | ||
【主权项】：
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- 一种可翻转式校正板装置及真空镀膜机-202320923125.6
- 陈志勇 - 成都超纯应用材料有限责任公司
- 2023-04-23 - 2023-09-05 - C23C14/30
- 本实用新型公开了一种可翻转式校正板装置，包括底座、翻转机构和均匀板，所述翻转机构的一端与所述底座相连，所述均匀板与所述翻转机构的另一端固定连接。所述翻转机构包括翻转块和设置有中空限位槽的底板，所述翻转块通过所述限位槽与所述底板活动连接，远离所述限位槽的底板一端与所述底座固定连接，所述翻转块与所述均匀板固定连接。通过翻转机构中的底板和翻转块通过螺杆进行固定连接，翻转块的穿插板插入底板中空的限位槽中，在螺杆的作用下进行旋转限位并进行固定旋转角度，使得最终镀膜产品的膜层厚度均匀性较高，同时根据镀膜需要进行调整旋转角度；此装置安装方便，制作成本低。
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