[实用新型]吸嘴快速拆装式固晶摆臂有效
| 申请号： | 202020243669.4 | 申请日： | 2020-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN211295064U | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 胡新荣 | 申请（专利权）人： | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 徐汉华 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种吸嘴快速拆装式固晶摆臂，包括气动拆装吸嘴的气动夹和支撑所述气动夹的支撑臂；所述气动夹包括安装于所述支撑臂上的夹头，所述夹头的一端设有用于配合容置所述吸嘴一端的容置孔，所述夹头的另一端设有用于连接气路以供气体进出所述容置孔的通气孔。本申请提供的吸嘴快速拆装式固晶摆臂，通过在夹头的一端设置容置孔，则将吸嘴插入容置孔中，以方便将吸嘴安装在夹头中；在夹头的另一端设置通气孔，则可以通过控制容置孔中气压，将吸嘴推出容置孔，以实现自动拆卸；从而实现吸嘴的快速拆装，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 嘴快 拆装 式固晶摆臂 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
