[实用新型]吸嘴快速拆装式固晶摆臂有效
申请号: | 202020243669.4 | 申请日: | 2020-03-02 |
公开(公告)号: | CN211295064U | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
发明(设计)人: | 胡新荣 | 申请(专利权)人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 徐汉华 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
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1.吸嘴快速拆装式固晶摆臂,其特征在于,包括气动拆装吸嘴的气动夹和支撑所述气动夹的支撑臂;所述气动夹包括安装于所述支撑臂上的夹头,所述夹头的一端设有用于配合容置所述吸嘴一端的容置孔,所述夹头的另一端设有用于连接气路以供气体进出所述容置孔的通气孔。
2.如权利要求1所述的吸嘴快速拆装式固晶摆臂,其特征在于:所述气动夹还包括用于连接气管的接头,所述接头与所述夹头相连。
3.如权利要求2所述的吸嘴快速拆装式固晶摆臂,其特征在于:所述气动夹还包括支撑套,所述夹头安装于所述支撑套的一端,所述接头安装于所述支撑套的另一端,所述支撑套安装于所述支撑臂上。
4.如权利要求3所述的吸嘴快速拆装式固晶摆臂,其特征在于:所述夹头滑动安装于所述支撑套中,所述夹头另一端的周侧凸设有凸台,所述支撑套一端的内壁上凸设有用于止挡所述凸台的挡台。
5.如权利要求4所述的吸嘴快速拆装式固晶摆臂,其特征在于:所述支撑套与所述夹头之间设有密封环,所述支撑套一端的内壁上设有定位容置所述密封环的定位环槽。
6.如权利要求5所述的吸嘴快速拆装式固晶摆臂,其特征在于:所述支撑套中安装有推顶弹簧,所述推顶弹簧的两端分别弹性抵顶所述夹头与所述接头。
7.如权利要求1-6任一项所述的吸嘴快速拆装式固晶摆臂,其特征在于:所述吸嘴快速拆装式固晶摆臂还包括驱动所述气动夹转动的校正调节机构,所述校正调节机构与所述支撑臂相连。
8.如权利要求7所述的吸嘴快速拆装式固晶摆臂,其特征在于:所述校正调节机构包括主动轮、从动轮、连接所述主动轮与所述从动轮的同步带和驱动所述主动轮转动的调节电机,所述从动轮套于所述气动夹上,所述主动轮安装于所述调节电机的主轴上。
9.如权利要求1-6任一项所述的吸嘴快速拆装式固晶摆臂,其特征在于:所述吸嘴快速拆装式固晶摆臂还包括驱动所述支撑臂升降的升降机构,所述支撑臂安装于所述升降机构上。
10.如权利要求9所述的吸嘴快速拆装式固晶摆臂,其特征在于:所述升降机构包括支撑所述支撑臂的滑座、支撑并引导所述滑座升降的导轨和驱动所述滑座升降的音圈电机。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造