[发明专利]一种电源芯片制造用晶圆切片机及制备工艺

摘要

本发明涉及晶圆切片机装置技术领域，公开了一种电源芯片制造用晶圆切片机及制备工艺，握住便携握杆向一侧拉动，将硅晶棒本体放置T型载物台的顶部，再次向反方向拉动便携握杆，松开便携握杆并向下按压,使得两个垂直杆向下滑动，进而使得两个相对应的压紧弹簧发生弹性形变，并使得相对应的两个弧形橡胶块下移并与硅晶棒本体相接触，从而能够对硅晶棒本体进行夹紧，防止硅晶棒本体在夹持过程中受到划痕而影响硅晶片的质量，进水管将回收桶内的抛光液排进液体泵内，经过液体泵的增压作用，经过出液管排进矩形出液孔内，进而经过矩形出液孔排出，对正在切割的硅晶棒本体进行喷洒，从而防止传统的倾倒方式造成抛光不均匀。