[发明专利]一种电源芯片制造用晶圆切片机及制备工艺

权利要求书

1.一种电源芯片制造用晶圆切片机，包括操作台本体(1)，其特征在于：所述操作台本体(1)的顶部固定连接有T型载物台(2)，所述T型载物台(2)的一侧侧壁上开设有两个穿孔(3)，两个所述穿孔(3)内均滑动套接有伸缩杆(4)，所述伸缩杆(4)的两端分别延伸至两个所述穿孔(3)的外侧，两个所述伸缩杆(4)的一端均固定连接有挤压盘(5)，两个所述伸缩杆(4)的另一端均固定连接有L型连接板(6)，所述L型连接板(6)相互靠近的一侧固定连接有同一个便携拉板(7)，两个所述伸缩杆(4)的一侧均固定套接有拉紧弹簧(8)和膨胀弹簧(9)，同一侧的两个所述拉紧弹簧(8)与所述膨胀弹簧(9)的位置均相互对应，所述L型连接板(6)的顶部开设有两个通孔，两个所述通孔内均滑动套接有垂直杆(10)，两个所述垂直杆(10)的两端分别延伸至相对应的所述通孔外侧，两个所述垂直杆(10)的底端均固定连接有弧形橡胶块(11)，两个所述垂直杆(10)的顶端固定连接有同一个水平连杆(12)，所述水平连杆(12)的一侧固定套接有便携握杆(13)；两个所述垂直杆(10)的一侧均固定套接有压紧弹簧(14)，两个所述压紧弹簧(14)的分别与相对应的所述弧形橡胶块(11)、所述L型连接板(6)相连，两个所述弧形橡胶块(11)的底端设有同一个硅晶棒本体(15)，所述硅晶棒本体(15)的一侧与两个所述弧形橡胶块(11)的一侧相贴合；所述操作台本体(1)的顶部固定连接有两个切割臂(16)，所述切割臂(16)上设有切割钢丝(18)，两个所述切割臂(16)相互靠近的一侧固定连接有同一个水平连接板(19)，所述水平连接板(19)的位置与所述切割钢丝(18)的位置相对应；所述水平连接板(19)的底部固定连接有出液盒(20)，所述出液盒(20)的位置与所述切割钢丝(18)、所述硅晶棒本体(15)的位置相对应，所述水平连接板(19)的顶部开设有连接孔(21)，所述水平连接板(19)的顶部固定连接有上固定块(26)，所述上固定块(26)的一侧开设有圆孔，所述连接孔(21)的位置与所述出液盒(20)的位置相对应；所述出液盒(20)的顶部开设有固定孔(22)，所述出液盒(20)的底部开设有矩形出液孔(23)，所述连接孔(21)与所述固定孔(22)、所述矩形出液孔(23)相互连通，所述操作台本体(1)的顶部固定连接有液体泵(24)，所述液体泵(24)的一侧固定连接有出液管(25)，所述出液管(25)的一端贯穿所述连接孔(21)、所述圆孔与所述固定孔(22)延伸至所述矩形出液孔(23)内。

2.根据权利要求1所述的一种电源芯片制造用晶圆切片机，其特征在于：两个所述切割臂(16)相互靠近的一侧侧壁上均开设有滑孔，两个所述滑孔内均滑动连接有切割转轮(17)，两个所述切割转轮(17)相互靠近的一侧固定连接有同一个切割钢丝(18)。

3.根据权利要求1或2所述的一种电源芯片制造用晶圆切片机，其特征在于：所述操作台本体(1)的底部开设有收集孔(27)，所述收集孔(27)内固定套接有收集管(28)，所述收集管(28)的两端分别延伸至所述收集孔(27)的外侧，所述收集管(28)的顶部固定连接有弧形收集盒(29)，所述弧形收集盒(29)的位置与所述切割钢丝(18)、所述硅晶棒本体(15)的位置相对应。

4.根据权利要求3所述的一种电源芯片制造用晶圆切片机，其特征在于：所述液体泵(24)的一侧开设有进水端(30)，所述收集管(28)的底端转动螺接有螺接管(31)，所述操作台本体(1)的一侧开设有两个T型槽(32)，两个所述T型槽(32)内均滑动连接有T型块(33)，两个所述T型块(33)的一端均延伸至两个所述T型槽(32)的外侧；两个所述T型块(33)的底端固定连接有同一个回收桶(34)，所述回收桶(34)的顶部开设有回收孔，所述螺接管(31)与所述回收孔滑动套接，所述回收桶(34)内固定连接有过滤板(35)，所述回收桶(34)的一侧开设有出水孔，所述进水端(30)的一端固定连接有进水管(36)，所述操作台本体(1)的顶部开设有限位孔(37)。