[发明专利]金属有机化合物化学气相沉淀设备腔盖及其隔离挡板

摘要

本公开提供了一种金属有机化合物化学气相沉淀设备腔盖及其隔离挡板，属于金属有机化合物化学气相沉淀设备领域。隔离挡板包括：环形板体，所述环形板体的内部设有冷却液通道，所述环形板体的表面设有进液口和出液口，所述进液口和所述出液口分别与所述冷却液通道连通，所述进液口、所述出液口和所述环形板体的内孔的一个端面位于同一平面，所述进液口和所述出液口的连线与所述环形板体的内环的直径重合，所述环形板体的内环外壁上设置有若干悬臂，所述若干悬臂环绕所述环形板体的中心分布。本公开能够改善石墨盘高速转动状态下腔体内壁附近流场。