[发明专利]一种OLED蒸镀用金属掩膜版制作方法在审
| 申请号： | 202011603067.6 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112725730A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 钱超;杨柯;牛恩众;余强根 | 申请（专利权）人： | 常州高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 肖念 |
| 地址： | 213300 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OLED蒸镀用金属掩膜版制作方法，包括如下步骤：S1，提供基板：采用三层片层固定，镍铁合金做第一片层，粘结剂和磁性薄片做第二片层和第三片层；S2，真空加热：预设温度370度，保持真空环境，进行多次低温加热，其中第一和第二次加热温度不超过200度，之后将S1中的基板加热至预设温度370度；S3，距离调整：利用多列超声波组合形成矩形超声波对S2中的基板进行处理；S4，密封：在真空的环境下对S3中的步骤上覆盖一层密封膜。本发明在进行多层次，多批次的加工后提高了金属掩膜版的质量精度，从而使得其在使用时能保证更好的制作质量，有效的提高了成品的制作率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 蒸镀用 金属 掩膜版 制作方法 | ||
【主权项】：
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