[发明专利]薄膜体声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011567369.2 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN114696767A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 牛玉娇;张树民 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 | 代理人： | 罗庆 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，所述谐振器包括：带空腔的基底、压电薄膜堆叠结构和至少一个支撑连接件；所述压电薄膜堆叠结构设置在所述基底的空腔上，且所述压电薄膜堆叠结构通过所述至少一个支撑连接件与所述基底表面固定连接；本申请中的压电薄膜堆叠结构的第一电极层或/和第二电极层通过所述支撑连接件实现与基底的固定连接，减小了第一电极层或第二电极层的锚接面积，从而使在锚接处具有较大的弹性形变能力，有利于压电薄膜堆叠结构在空腔上方的自由振动，进而减少了anchor loss，提高了谐振器的滤波性能。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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