[发明专利]一种用于提升石英微机械三维结构对准精度的方法有效
| 申请号： | 202011543242.7 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112748648B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 杨雪蕾;郭亚北;路文一;孟丽娜;陶晋;段亚飞;王健 | 申请（专利权）人： | 北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司;中国航天时代电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 庞静 |
| 地址： | 100076 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
一种用于提升石英微机械三维结构对准精度的方法，对准标记为配套使用的一套二维图形，包括内部对准标记和外部对准标记，内部对准标记与石英微机械三维结构通过一次光刻转移到石英晶片上同时进行湿法腐蚀，对准时通过移动晶片实现第二次套准掩膜版上外部对准标记与石英晶片内部对准标记的中心对准。所述对准标记的特征在于：对准标记图形的边对应特定的晶面布局，所选 |
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| 搜索关键词： | 一种 用于 提升 石英 微机 三维 结构 对准 精度 方法 | ||
【主权项】：
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