[发明专利]一种用于检测半导体工厂二氧化硫气氛的在线检测方法在审
| 申请号： | 202011524795.8 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112683973A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 李卫;黄文胜;杨莹 | 申请（专利权）人： | 世源科技工程有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30;G01N27/416;G05D27/02 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 丁睿 |
| 地址： | 100142 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明涉及半导体行业中SO |
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| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 半导体 工厂 二氧化硫 气氛 在线 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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