[发明专利]一种N型HIBC太阳电池的制备方法在审
申请号: | 202011496014.9 | 申请日: | 2020-12-17 |
公开(公告)号: | CN114649438A | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
发明(设计)人: | 常纪鹏;王永谦;田得雨;林纲正;陈刚 | 申请(专利权)人: | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0352 |
代理公司: | 杭州信义达专利代理事务所(普通合伙) 33305 | 代理人: | 胡铁锋 |
地址: | 322009 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种N型HIBC太阳电池的制备方法,属于太阳电池制备领域,包括:在单晶硅片正面依次形成第一非晶硅钝化层和减反射膜层;在所述单晶硅片的背面采用可分离的硬质掩膜版进行紧贴覆盖,硬质掩膜版采用间隔排列覆盖,在未被硬质掩膜版覆盖的区域形成凸起层;对单晶硅片的背面上硬质掩膜版的覆盖区域进行刻蚀清洗,去除该区域内的晶硅基底,形成凹槽;在凸起层上印刷油墨掩膜材料,以形成油墨保护层;在单晶硅片的背面所有区域均依次形成三种膜;单晶硅片的背面进行清洗,剥离油墨保护层;印刷电极。本发明的优点在于简化制备工艺,非常有利于大规模生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 hibc 太阳电池 制备 方法 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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