[发明专利]抛光液供给装置有效
| 申请号： | 202011490914.2 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN112658982B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 李昀泽 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/005;B24B57/02;B24B49/12;B24B49/10;C09G1/02;G08B21/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;张博 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抛光液供给装置，属于半导体技术领域。抛光液供给装置，包括：第一容器，用以盛放二氧化硅溶液；第二容器，用以盛放有机聚合物溶液；第三双层容器，用以盛放有机聚合物溶液与二氧化硅溶液的混合液；所述第三双层容器包括不透光的外层容器壁和透光的内层容器壁，所述外层容器壁和所述内层容器壁之间形成有空腔；所述第一容器的出液口、所述第二容器的出液口分别与所述第三双层容器的进液口连通，所述第一容器的出液口与所述第三双层容器的进液口之间设置有过滤器；所述内层容器壁朝向所述空腔一侧的外壁设置有红外传感器组件，用以检测所述内层容器壁的内壁是否存在颗粒物。本发明能够避免硅片表面被划伤。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 供给 装置 | ||
【主权项】：
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