[发明专利]抛光液供给装置

权利要求书

1.一种抛光液供给装置，其特征在于，包括：

第一容器，用以盛放二氧化硅溶液；

第二容器，用以盛放有机聚合物溶液；

第三双层容器，用以盛放有机聚合物溶液与二氧化硅溶液的混合液；

所述第三双层容器包括不透光的外层容器壁和透光的内层容器壁，所述外层容器壁和所述内层容器壁之间形成有空腔；

所述第一容器的出液口、所述第二容器的出液口分别与所述第三双层容器的进液口连通，所述第一容器的出液口与所述第三双层容器的进液口之间设置有过滤器；

所述内层容器壁朝向所述空腔一侧的外壁设置有红外传感器组件，用以检测所述内层容器壁的内壁是否存在颗粒物。

2.根据权利要求1所述的抛光液供给装置，其特征在于，还包括：

设置在所述第三双层容器的出液口的阀门；

控制机构，用于接收所述红外传感器组件的信号，在所述红外传感器组件检测所述内层容器壁的内壁存在颗粒物时，控制所述阀门关闭。

3.根据权利要求1所述的抛光液供给装置，其特征在于，还包括：

报警单元，用于在所述红外传感器组件检测所述内层容器壁的内壁存在颗粒物时，进行报警。

4.根据权利要求1所述的抛光液供给装置，其特征在于，所述过滤器的过滤直径为0.1～5um。

5.根据权利要求1所述的抛光液供给装置，其特征在于，还包括：

喷洒单元，用于在所述第三双层容器盛放混合液之前，将有机聚合物溶液均匀喷洒在所述内层容器壁的内壁形成保护膜。

6.根据权利要求1所述的抛光液供给装置，其特征在于，所述红外传感器组件包括至少一组红外光源和光电传感器，每组的红外光源和光电传感器分别设置在所述内层容器壁的相对两侧，所述红外光源用于向所述内层容器壁内发射红外光，所述红外光穿过所述内层容器壁被对应的光电传感器接收。

7.根据权利要求1所述的抛光液供给装置，其特征在于，所述红外传感器组件包括至少一组红外光源和光电传感器，每组的光电传感器位于红外光源的周边，所述红外光源用于向所述内层容器壁内发射红外光。

8.根据权利要求6或7所述的抛光液供给装置，其特征在于，所述红外传感器组件包括多组红外光源和光电传感器，所述多组红外光源和光电传感器沿所述第三双层容器的第一方向排布。

9.根据权利要求1所述的抛光液供给装置，其特征在于，所述外层容器壁和所述内层容器壁采用聚碳酸酯PC或聚氯乙烯PVC制作。