[发明专利]一种二氧化硅绝缘膜及其制备方法在审
申请号: | 202011482683.0 | 申请日: | 2020-12-16 |
公开(公告)号: | CN114634723A | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | 于云;杨丛纲;米乐;冯爱虎;于洋;宋力昕 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | C09D1/00 | 分类号: | C09D1/00;C09D5/25;B05D7/14 |
代理公司: | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人: | 曹芳玲;郑优丽 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种二氧化硅绝缘膜及其制备方法,所述二氧化硅绝缘膜的制备方法包括:(1)称量γ‑(2,3‑环氧丙烷)丙基三甲氧基硅烷、肌醇六磷酸和无水乙醇并混合,得到A溶液;(2)称量甲基三乙氧基硅烷、正硅酸乙酯、去离子水和无水乙醇并混合,得到B溶液;(3)将所得A液体和B溶液混合得到混合液,再经水浴加热,得到二氧化硅溶胶;(4)在金属基材上涂敷所得二氧化硅溶胶,再经热处理,得到所述二氧化硅绝缘薄膜。 | ||
搜索关键词: | 一种 二氧化硅 绝缘 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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