[发明专利]具有连接至串选择线的选择线钉柱的半导体装置在审

专利信息
申请号: 202011478012.7 申请日: 2020-12-15
公开(公告)号: CN113488480A 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 柳孝俊;金宽容;姜书求;沈善一;赵源锡;韩智勋 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/11563 分类号: H01L27/11563;H01L27/11578;H01L27/11568;H01L27/11573
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 赵南;张帆
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种半导体装置包括:存储器堆叠件,其设置在衬底上,并且包括下栅电极;上栅极堆叠件,其包括串选择线;竖直地延伸的存储器栅极接触件,其设置在下栅电极上;以及竖直地延伸的选择线钉柱,其设置在串选择线上。串选择线包括与下栅电极的材料不同的材料,并且选择线钉柱包括与存储器栅极接触件的材料不同的材料。
搜索关键词: 具有 连接 选择 线钉柱 半导体 装置
【主权项】:
暂无信息
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