[发明专利]一种用于氢化物气相外延生长氮化镓的蒸发器有效
| 申请号： | 202011466005.5 | 申请日： | 2020-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN112626620B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 余盛杰;汪洋;潘影;刘佳宝;柴攀;万强 | 申请（专利权）人： | 湖南德智新材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B25/02 |
| 代理公司： | 长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙) 43213 | 代理人： | 周孝湖 |
| 地址： | 412000 湖南省株洲市天元区中*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于氢化物气相外延生长氮化镓的蒸发器，包括石墨基材，石墨基材的外表面包覆有硅过渡层，硅过渡层的外表面包覆有TaC涂层，TaC涂层由靠近硅过渡层的一侧至远离硅过渡层的一侧孔隙率逐渐增大。该用于氢化物气相外延生长氮化镓的蒸发器镓源的挥发效率高、蒸发器石墨基材不易受高温腐蚀性气氛侵蚀、使用寿命更长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 氢化物 外延 生长 氮化 蒸发器 | ||
【主权项】：
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