[发明专利]一种基于模态局部化效应的可调加速度传感器有效
| 申请号： | 202011460351.2 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112710865B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 吕明;赵剑;刘蓬勃;钟恒;宋嘉濠;孙荣健;郑显泽;唐英海 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01P15/00 | 分类号： | G01P15/00 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 陈丽;李洪福 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于模态局部化效应的可调加速度传感器，包括：第一固支梁两端分别通过第一固定端和第一质量块固定；第一质量块左端与第一铰接端相连；第一铰接端与第二固定端相连；第二固支梁置于第一固支梁左侧，其两端通过第二固定端和第二质量块固定；第二质量块右端与第二铰接端相连；第二铰接端与第一固定端相连；第一固支梁与第二固支梁之间通过静电耦合，耦合电源输出耦合电压加载在第二固支梁上，用于调整第一固支梁和第二固支梁之间的静电耦合强度；第一固支梁、第二固支梁分别通过第一固定激励电极、第二固定激励电极调节驱动力。本发明能够实现传感器灵敏度、探测范围和分辨率的在线调整，具有高灵敏度，鲁棒性强等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 局部 效应 可调 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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