[发明专利]一种基于模态局部化效应的可调加速度传感器

权利要求书

1.一种基于模态局部化效应的可调加速度传感器，其特征在于，包括：由第一固支梁构成的第一谐振器和由第二固支梁构成的第二谐振器；所述第一固支梁与所述第二固支梁的长度可变且等长；

所述第一固支梁两端分别通过第一固定端和第一质量块固定；所述第一质量块左端与第一铰接端相连；第一铰接端与第二固定端相连；

所述第二固支梁，置于所述第一固支梁左侧，其两端通过第二固定端和第二质量块固定；所述第二质量块右端与第二铰接端相连；第二铰接端与第一固定端相连；

其中，所述第一固支梁与所述第二固支梁之间通过静电耦合，耦合电源输出耦合电压加载在所述第二固支梁上，用于调整所述第一固支梁和所述第二固支梁之间的静电耦合强度；

所述第一固支梁通过第一固定激励电极调节驱动力；所述第二固支梁通过第二固定激励电极调节驱动力；当在外界加速度的作用下质量块发生运动时，通过杠杆引起两个谐振器的轴向力发生变化从而幅值发生变化，通过计算两个谐振器的幅值比就能够得到加速度的大小。

2.根据权利要求1所述的基于模态局部化效应的可调加速度传感器，其特征在于，所述第二固支梁的宽度等于所述第一固支梁的宽度。

3.根据权利要求1所述的基于模态局部化效应的可调加速度传感器，其特征在于，所述第一固定激励电极的长度与所述第二固定激励电极的长度相等，所述第一固定激励电极的宽度与所述第二固定激励电极的宽度相等。

4.根据权利要求1所述的基于模态局部化效应的可调加速度传感器，其特征在于，所述第一固定激励电极的长度小于所述第一固支梁的长度，所述第一固定激励电极的宽度等于所述第一固支梁的宽度；

所述第二固定激励电极的长度小于所述第二固支梁的长度，所述第二固定激励电极的宽度等于所述第二固支梁的宽度。

5.根据权利要求1所述的基于模态局部化效应的可调加速度传感器，其特征在于，所述第一固定激励电极与所述第一固支梁之间的间隙等于所述第二固定激励电极与所述第二固支梁之间的间隙，小于所述第二固支梁与所述第一固支梁之间的距离。

6.根据权利要求1所述的基于模态局部化效应的可调加速度传感器，其特征在于，所述第一固定激励电极和所述第二固定激励电极是完全固定的，所述第一固定激励电极的电压源由交流电和直流电共同驱动，所述第二固定激励电极的激励电压只由直流电压构成。