[发明专利]一种测量待测样品四维电子能量损失谱的方法

摘要

本发明提供一种测量待测样品四维电子能量损失谱的方法，所述方法包括如下步骤：S1、将制备好的待测样品放入电镜，旋转待测样品至待测的带轴；S2、在电镜的电子束的汇聚半角为第一汇聚半角下校正像散，再切换电子束的汇聚半角为第二汇聚半角；S3、调整电镜相机上的衍射斑使待测动量区位于狭缝光阑的预留区域内；S4、插入所述狭缝光阑使得所述狭缝光阑位于所述预留区域内；S5、插入单色仪，限制通过电子束的能量，提高能量分辨率；S6、调整像散；S7、获得待测样品当前位置的能量‑动量图。该方法可以测量纳米结构的能量‑动量谱，不需要大块的单晶样品，是角分辨光电子能谱和高分辨电子能量损失谱仪的有效补充。