[发明专利]用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统及校准方法有效

专利信息
申请号: 202011442981.7 申请日: 2020-12-08
公开(公告)号: CN112691924B 公开(公告)日: 2022-08-12
发明(设计)人: 王耀荣;王振海;崔培豹;杨索和;生鲁江 申请(专利权)人: 青岛中科墨云智能有限公司
主分类号: B07C5/02 分类号: B07C5/02;H01L21/67;H01L33/00
代理公司: 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 代理人: 张正
地址: 266400 山东省青岛*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统及校准方法,包括校准系统包括分选摆臂机构、推顶器机构和两组相机定位机构;相机定位机构包括相机固定支架、镜头组件、CCD相机组件和同轴光源组件。分选摆臂机构包括旋转基座,旋转基座的两侧分别连有第一升降组件和第二升降组件,第一升降组件通过第一螺钉调节组件连接有第一摆臂组件,第二升降组件通过第二螺钉调节组件连接有第二摆臂组件,第一摆臂组件的端部和第二摆臂组件的端部分别连接有第一分选吸嘴机构和第二分选吸嘴结构。本发明中的校准方法采用上述校准系统,实现了分选调节的三点校准。该系统的整体结构更新颖,提高了分选机性能,方便简化生产操作。
搜索关键词: 用于 led 半导体 晶片 分选 新型 校准 系统 方法
【主权项】:
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