[发明专利]掩膜板、显示面板及掩膜板的制作方法有效
| 申请号： | 202011423740.8 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112725727B | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 黄文科 | 申请（专利权）人： | 武汉天马微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L27/32;H01L51/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 娜拉 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜板、显示面板及掩膜板的制作方法，该掩膜板包括：至少一个掩膜条；其中，所述掩膜条包括多个孔，所述多个孔在所述掩膜条上沿第一方向排布且沿第二方向延伸，所述第一方向与所述第二方向交叉，所述多个孔包括在所述第一方向上位于边缘位置的多个边缘孔，所述多个边缘孔中的至少一个设置为对位孔，所述掩膜条包括识别单元，所述识别单元用于识别所述边缘孔中所设置的所述对位孔。本申请提供的掩膜板、显示面板及掩膜板的制作方法，提高了所制作的掩膜板张网时的张网精度，以提高所制作的显示面板制作精度和良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 显示 面板 制作方法 | ||
【主权项】：
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