[发明专利]掩膜板、显示面板及掩膜板的制作方法有效
申请号: | 202011423740.8 | 申请日: | 2020-12-08 |
公开(公告)号: | CN112725727B | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
发明(设计)人: | 黄文科 | 申请(专利权)人: | 武汉天马微电子有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L27/32;H01L51/00 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 娜拉 |
地址: | 430074 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜板 显示 面板 制作方法 | ||
本发明公开了一种掩膜板、显示面板及掩膜板的制作方法,该掩膜板包括:至少一个掩膜条;其中,所述掩膜条包括多个孔,所述多个孔在所述掩膜条上沿第一方向排布且沿第二方向延伸,所述第一方向与所述第二方向交叉,所述多个孔包括在所述第一方向上位于边缘位置的多个边缘孔,所述多个边缘孔中的至少一个设置为对位孔,所述掩膜条包括识别单元,所述识别单元用于识别所述边缘孔中所设置的所述对位孔。本申请提供的掩膜板、显示面板及掩膜板的制作方法,提高了所制作的掩膜板张网时的张网精度,以提高所制作的显示面板制作精度和良品率。
技术领域
本发明属于显示器件技术领域,尤其涉及一种掩膜板、显示面板及掩膜板的制作方法。
背景技术
目前,在显示装置的制造过程中,通常采用高精度金属掩膜板(Fine Metal Mask,缩写FMM)作为蒸镀掩膜板,从而将发光材料蒸镀在阵列基板上对应的开口位置,从而制得所需的显示面板。但是,现有中用于蒸镀设备内有机材料蒸发至阵列基板指定位置的掩膜板,在张网过程中,容易发生张网机对位时无法识别掩膜板的准确位置的情况,导致抓取错误,从而导致蒸镀后形成的显示面板的不良,增加了制作成本。
发明内容
本发明的目的在于:通过设计的掩膜板、显示面板及掩膜板的制作方法,提高了所制作的掩膜板张网时的张网精度,以提高所制作的显示面板制作精度和良品率。
第一方面,为解决上述技术问题,本发明实施例提供一种掩膜板,该掩膜板包括至少一个掩膜条;其中,所述掩膜条包括多个孔,所述多个孔在所述掩膜条上沿第一方向排布且沿第二方向延伸,所述第一方向与所述第二方向交叉,所述多个孔包括在所述第一方向上位于边缘位置的多个边缘孔,所述多个边缘孔中的至少一个设置为对位孔,所述掩膜条包括识别单元,所述识别单元用于识别所述边缘孔中所设置的所述对位孔。
第二方面,本发明实施例还提供一种显示面板,包括衬底,所述衬底包括多个像素,所述多个像素根据上述所描述的掩膜板蒸镀而成。
第三方面,本发明实施例还提供一种掩膜板的制作方法,包括:安装支撑条;在所述支撑条上安装掩膜条,所述掩膜条包括多个孔,所述多个孔在所述掩膜条上沿第一方向排布且沿第二方向延伸,所述第一方向与所述第二方向交叉,所述多个孔包括在所述第一方向上位于边缘位置的多个边缘孔,所述多个边缘孔中的至少一个设置为对位孔,所述掩膜条包括识别单元,所述识别单元用于识别所述边缘孔中所设置的所述对位孔;以及通过所述对位孔校正所述掩膜条的位置。
采用本发明实施例的技术方案,通过在掩膜条上设置的多个边缘孔的相应位置处设置识别单元,以通过识别单元的布置位置,以识别到边缘孔中所预先设计的对位孔的形式,一方面,利用原有开设的孔作为对位孔的形式,避免额外在掩膜条四周蚀刻孔作为对位孔时,在张网过程对位孔容易被遮挡部分或全部,容易产生张网对位时精度较差而影响像素精度的问题,将用于蒸镀像素的孔作为对位孔能够避免被遮挡,以提高对位精度;另一方面,通过识别单元的设置以便于张网机在位于边缘孔的相应行中,能够通过识别单元方便快速的识别抓取到对位孔,以便于张网机的识别抓取,提高对位的效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案,下面将对本发明实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面所描述的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的一种掩膜条主视图,其中,箭头W所指方向为第一方向,箭头L所指方向为第二方向;
图2是本发明实施例提供的另一种掩膜条主视图,其中,箭头W所指方向为第一方向,箭头L所指方向为第二方向;
图3是本发明实施例提供的又一种掩膜条主视图,其中,箭头W所指方向为第一方向,箭头L所指方向为第二方向;
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