[发明专利]锭生长装置在审
| 申请号： | 202011408528.4 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN114277438A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 裵东佑;李京锡;李泳敏 | 申请（专利权）人： | 韩华思路信 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/14;C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 陈万青;李雪 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开锭生长装置。本发明实施例的锭生长装置包括：生长炉，在内部配置为了使锭生长而收容熔融硅的主坩埚；基座，包围上述主坩埚的外侧面，包括互相电绝缘的多个发热部件；以及加热器，用于产生磁场，借助因磁场而产生的电磁感应来对上述多个发热部件进行加热，上述多个发热部件沿着上述主坩埚的外侧面形成环状。 | ||
| 搜索关键词： | 生长 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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