[发明专利]一种用于制备二维材料的原子层沉积系统

摘要

本发明涉及制备二维材料的原子层沉积系统技术领域，提供了一种用于制备二维材料的原子层沉积系统，包括工作台，其特征在于：所述工作台上设置有反应腔；送样系统；前驱体源输送系统，用于输送前驱体气源；反应源输送系统，用于输送反应性气源；真空系统，为气体流通提供动力支持。本发明克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，解决了现有的ALD装置沉积系统无法满足高温沉积，同时步骤复杂的问题，本发明通过简单的结构组合，操作步骤少，同时结构布局更加合理紧凑，方便在高温下发生沉积，具有很强的实用性。