[发明专利]具有铁电随机存取存储器和可调电容器的片上系统在审

专利信息
申请号: 202011331585.7 申请日: 2020-11-24
公开(公告)号: CN113130490A 公开(公告)日: 2021-07-16
发明(设计)人: 杨世海;徐志安;王晨晨 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/105 分类号: H01L27/105;H01L27/11507
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 代理人: 陈蒙
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 本公开涉及具有铁电随机存取存储器和可调电容器的片上系统。一种半导体器件,包括:衬底;第一电介质层,位于衬底之上;存储器单元,位于半导体器件的第一区域中的衬底之上,其中,存储器单元包括第一电介质层中的第一铁电结构,其中,第一铁电结构包括第一底部电极、第一顶部电极和介于这两者之间的第一铁电层;以及可调谐电容器,位于半导体器件的第二区域中的衬底之上,其中,可调谐电容器包括第二铁电结构,其中,第二铁电结构包括第二底部电极、第二顶部电极和介于这两者之间的第二铁电层,其中,第二铁电结构的至少一部分位于第一电介质层中。
搜索关键词: 具有 随机存取存储器 可调 电容器 系统
【主权项】:
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