[发明专利]用于Ⅲ-Ⅴ族氮化物器件的表面钝化结构及其器件有效
| 申请号： | 202011302202.3 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112420813B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 郭德霄;林志东;何俊蕾;王立阁;汪晓媛;赵杰;刘成;叶念慈 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/20;H01L29/40;H01L29/778;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361100 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种用于Ⅲ‑Ⅴ族氮化物器件的表面钝化结构及其器件，包括位于Ⅲ‑Ⅴ族氮化物基底上的Al |
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| 搜索关键词： | 用于 氮化物 器件 表面 钝化 结构 及其 | ||
【主权项】：
暂无信息
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