[发明专利]MEMS传感器的制作方法在审
| 申请号： | 202011288259.2 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN112551480A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 柏杨;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声新能源发展（常州）有限公司科教城分公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 | 代理人： | 周纯 |
| 地址： | 213167 江苏省常州市武进*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及MEMS传感器技术领域，尤其涉及一种MEMS传感器的制作方法。本发明的MEMS传感器的制作方法，在MEMS晶圆的背面涂覆胶水形成胶水层，并对胶水层进行半固化处理；再进行MEMS晶圆切割，切割所得的单颗MEMS芯片背面设有一层半固化的胶水层；再将单颗MEMS芯片设有胶水层的一面与基板结合，对胶水层进行固化；通过上述方式，在基板上安装MEMS芯片时，无需在基板上进行点胶操作，减少了胶水用量，避免了胶水在MEMS芯片周围溢出，有利于降低MEMS芯片的厚度，有利于提高MEMS传感器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
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