[发明专利]半导体器件在审

专利信息
申请号: 202011261966.2 申请日: 2020-11-12
公开(公告)号: CN112802853A 公开(公告)日: 2021-05-14
发明(设计)人: 久本大;川嶋祥之;桥本孝司 申请(专利权)人: 瑞萨电子株式会社
主分类号: H01L27/1157 分类号: H01L27/1157;H01L27/11573;H01L29/78;H01L29/10
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 李辉
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本公开的实施例涉及半导体器件。半导体器件具有使用FinFET的分离栅极型MONOS结构,并且该半导体器件包括源极和漏极,其各自由n型杂质扩散层形成;第一沟道形成层,形成在控制栅极下方,并且由掺杂有p型杂质的半导体层形成、以及第二沟道形成层,形成在存储器栅极下方,并且由掺杂有n型杂质的半导体层形成。此外,半导体器件包括p型半导体层,该p型半导体层形成在第二沟道形成层下方,并且具有比半导体衬底的杂质浓度高的杂质浓度。
搜索关键词: 半导体器件
【主权项】:
暂无信息
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