[发明专利]一种半导体加工设备控制系统在审
| 申请号： | 202011255129.9 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112379619A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 彭成湘 | 申请（专利权）人： | 湖南顺铭科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 长沙湘驰达知识产权代理事务所(普通合伙) 43242 | 代理人： | 罗若愚 |
| 地址： | 415300 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种半导体加工设备控制系统，包括以太网交换机，用于传输现场级设备调度信号；嵌入式控制模块，通过以太网接口与所述以太网交换机通讯连接；所述嵌入式控制模块用于控制现场级设备调度和EFEM工艺信息处理；通信接口，用于连接所述嵌入式控制模块与EFEM组件，所述通信接口包括模块化I/O接口，所述模块化I/O接口用于连接以太网交换机与现场级设备；利用以太网交换机把各个分设备连通起来，所以可以使控制系统本身结构更加紧凑，所以可以有效减少控制系统在EFEM中所占的空间，从而使EFEM结构紧凑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 加工 设备 控制系统 | ||
【主权项】：
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