[发明专利]晶圆制造方法及其制成的光学生物识别模组和电子设备在审
| 申请号： | 202011215570.4 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN112232277A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 姜桐;黄昊;姜洪霖;杨成龙 | 申请（专利权）人： | 上海菲戈恩微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00;G03F9/00 |
| 代理公司： | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 | 代理人： | 赵雷 |
| 地址： | 200000 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆制造方法，该方法包括光阑的制造方法，该光阑的制造方法包括以下步骤：S1：取芯片基体；S2：在芯片基体上形成对准标记；S3：在芯片基体和对准标记上覆盖一层黑色光刻胶薄膜层，该黑色光刻胶薄膜层可同时截止可见光和红外光；S4：基于对准标记进行光阑图形对准；S5：曝光显影；S6：形成带光阑图形的光阑层。本发明制作出的光阑层形成的光学模组光信噪比提升，出图更加清晰，采图效果更好，提升指纹模组识别正确率。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 方法 及其 制成 光学 生物 识别 模组 电子设备 | ||
【主权项】：
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