[发明专利]掩模版框架和掩模版组件有效

专利信息
申请号: 202011205737.9 申请日: 2020-11-02
公开(公告)号: CN112323018B 公开(公告)日: 2022-12-13
发明(设计)人: 齐英旭;王恩霞;卓林海;王亚;周小康 申请(专利权)人: 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/24
代理公司: 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 代理人: 郭凤杰
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本申请提供了一种掩模版框架和掩模版组件,所述掩模版框架包括第一侧和第二侧,所述第一侧与所述第二侧相对设置,所述第一侧用于与掩模版固定连接;所述掩模版框架包括至少一对相对设置的边框,所述至少一对相对设置的边框在朝向所述第一侧的方向上,所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大,所述掩模版框架的第二侧为平面。使得所述边框在受到来自于所述掩模版的拉伸回缩力后,所述边框的两端不容易向朝向所述掩模版的方向翘曲,也就使得固定连接在所述掩模版框架上的掩模版也不会因为所述掩模版框架的四角翘曲而产生变形和对位偏差,避免了由此产生的蒸镀混色和屏体不良的问题,提高了所述掩模版的蒸镀品质和蒸镀良率。
搜索关键词: 模版 框架 组件
【主权项】:
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