[发明专利]掩模版框架和掩模版组件有效
| 申请号: | 202011205737.9 | 申请日: | 2020-11-02 |
| 公开(公告)号: | CN112323018B | 公开(公告)日: | 2022-12-13 |
| 发明(设计)人: | 齐英旭;王恩霞;卓林海;王亚;周小康 | 申请(专利权)人: | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 郭凤杰 |
| 地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 模版 框架 组件 | ||
本申请提供了一种掩模版框架和掩模版组件,所述掩模版框架包括第一侧和第二侧,所述第一侧与所述第二侧相对设置,所述第一侧用于与掩模版固定连接;所述掩模版框架包括至少一对相对设置的边框,所述至少一对相对设置的边框在朝向所述第一侧的方向上,所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大,所述掩模版框架的第二侧为平面。使得所述边框在受到来自于所述掩模版的拉伸回缩力后,所述边框的两端不容易向朝向所述掩模版的方向翘曲,也就使得固定连接在所述掩模版框架上的掩模版也不会因为所述掩模版框架的四角翘曲而产生变形和对位偏差,避免了由此产生的蒸镀混色和屏体不良的问题,提高了所述掩模版的蒸镀品质和蒸镀良率。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,尤其涉及一种掩模版框架和掩模版组件。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode)称为有机电致发光二极管。OLED显示技术具有全固态、主动发光、高对比度、超薄、低功耗、效应速度快、工作范围宽、易于实现柔性显示和3D显示等诸多优点,使它在目前在众多显示设备上得到应用,例如应用于电视机和移动设备上。
制造OLED显示面板的工艺过程包括多种工艺技术,其中,精细金属掩膜(FMM,FineMetal Mask)技术是主要技术之一,通常采用精细金属掩膜版并通过蒸镀工艺制作各子单元像素。精细金属掩膜版的蒸镀效果影响着OLED显示面板制造工艺的良率。
发明内容
根据本申请实施例的第一方面,提供了一种掩模版框架,
所述掩模版框架包括第一侧和第二侧,所述第一侧与所述第二侧相对设置,所述第一侧用于与掩模版固定连接;
所述掩模版框架包括至少一对相对设置的边框,所述至少一对相对设置的边框在朝向所述第一侧的方向上,所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大,所述掩模版框架的第二侧为平面。
在一个实施例中,所述掩模版框架包括两对相对设置的边框,所述两对相对设置的边框围成矩形。
在一个实施例中,仅所述两对相对设置的边框中的一对相对设置边框在朝向所述第一侧的方向上,所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大。
在一个实施例中,所述两对相对设置的边框的全部边框在朝向所述第一侧的方向上,所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大。
在一个实施例中,所述至少一对相对设置的边框在朝向所述第一侧的方向上,所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大,其中,所述边框在所述第一侧的表面为阶梯状。
在一个实施例中,所述至少一对相对设置的边框在朝向所述第一侧的方向上,所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大,其中,所述边框在所述第一侧的表面为弧形。
在一个实施例中,所述掩膜框架还包括搭接台阶,所述搭接台阶设置于所述掩膜框架的第一侧,所述搭接台阶的宽度小于所述边框的宽度,所述搭接台阶设置在各个边框上,且靠近其所处边框的相对的边框的一侧,其中,所述搭接台阶远离所述边框的一侧的表面为平面。
在一个实施例中,所述搭接台阶与所述边框为相同材料制成,且所述搭接台阶与所述边框一体成型。
根据本申请实施例的第二方面,提供了一种掩模版组件,包括:
包括如本申请实施例的第一方面所述的掩模版框架,还包括掩模版,所述掩模版与所述掩模版框架的第一侧焊接固定。
在一个实施例中,所述掩模版与所述搭接台阶远离所述边框的一侧的表面焊接固定。
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