[发明专利]掩模版框架和掩模版组件有效
| 申请号： | 202011205737.9 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN112323018B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 齐英旭;王恩霞;卓林海;王亚;周小康 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 郭凤杰 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 模版 框架 组件 | ||
1.一种掩模版组件，其特征在于，所述掩模 版组件包括掩模版框架和掩模版，所述掩模版用于对OLED材料进行蒸镀；
所述掩模版框架包括第一侧和第二侧，所述第一侧与所述第二侧相对设置，所述第一侧用于与所述掩模版固定连接；
所述掩模版框架包括至少一对相对设置的边框，所述至少一对相对设置的边框在朝向所述第一侧的方向上，所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大，所述掩模版框架的第二侧为平面；
所述掩模版框架包括两对相对设置的边框，所述两对相对设置的边框围成矩形，所述两对相对设置的边框的全部边框在朝向所述第一侧的方向上，所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大；
所述掩模版 框架还包括搭接台阶，所述搭接台阶设置于所述掩模版 框架的第一侧，所述搭接台阶的宽度小于所述边框的宽度，所述搭接台阶设置在各个边框上，且所述搭接台阶靠近其所处边框的相对的边框的一侧，其中，所述搭接台阶远离所述边框的一侧的表面为平面。
2.根据权利要求1所述的掩模版组件，其特征在于，所述至少一对相对设置的边框在朝向所述第一侧的方向上，所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大，其中，所述边框在所述第一侧的表面为阶梯状。
3.根据权利要求1所述的掩模版组件，其特征在于，所述至少一对相对设置的边框在朝向所述第一侧的方向上，所述边框的厚度沿着所述边框长度的方向从两端到中间逐渐增大，其中，所述边框在所述第一侧的表面为弧形。
4.根据权利要求1所述的掩模版组件，其特征在于，所述搭接台阶与所述边框为相同材料制成，且所述搭接台阶与所述边框一体成型。
5.根据权利要求1所述的掩模版组件，其特征在于，所述掩模版与所述搭接台阶远离所述边框的一侧的表面焊接固定。
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