[发明专利]栅格在审
| 申请号： | 202011131978.3 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN114464516A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 杨威 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26;G01N23/04 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种栅格，包括：承载主体；至少一个支撑柱，所述支撑柱位于所述承载主体上；所述支撑柱具有用于支撑样品的顶面；所述支撑柱内具有至少一个凹槽，所述凹槽自所述顶面指向所述承载主体方向延伸，且所述凹槽的槽壁与所述顶面连接。本发明实施例能够避免样品被二次离子污染，提高样品质量，进而提高后续透射电子显微镜的成像效果。 | ||
| 搜索关键词： | 栅格 | ||
【主权项】：
暂无信息
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