[发明专利]一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置在审
| 申请号: | 202011131763.1 | 申请日: | 2020-10-21 |
| 公开(公告)号: | CN112297259A | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
| 发明(设计)人: | 彭付萍 | 申请(专利权)人: | 广州蓝涛贸易有限公司 |
| 主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D7/00;H01L21/67;G01C9/18;G08B21/18 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 510700 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明涉及半导体加工设备技术领域,且公开了一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置,包括检测柱,所述检测柱的底部固定连接有液体储存柱,所述检测柱的内侧壁固定连接有液压柱,所述液压柱的内侧壁滑动连接有顶杆,所述顶杆的顶端固定连接有永磁体一,所述永磁体一的顶端固定连接有复位弹簧一;检测支架内的滑动块被横杆带动,向内侧移动,在滑动块向内侧移动时,使滑动块上的连接杆随之移动,使连接杆带动弹性片向上形变,使弹性片上的触点与导电平台上的传输线接触,使检测柱外侧的报警器在通电后,发出警报,提醒人员出现过大的倾斜角度,使该装置可以对倾斜角度自动进行检测,提升装置的使用可靠性。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 用于 倒角 倾斜 保护装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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