[发明专利]一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置

说明书

本发明涉及半导体加工设备技术领域，且公开了一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置，包括检测柱，所述检测柱的底部固定连接有液体储存柱，所述检测柱的内侧壁固定连接有液压柱，所述液压柱的内侧壁滑动连接有顶杆，所述顶杆的顶端固定连接有永磁体一，所述永磁体一的顶端固定连接有复位弹簧一；检测支架内的滑动块被横杆带动，向内侧移动，在滑动块向内侧移动时，使滑动块上的连接杆随之移动，使连接杆带动弹性片向上形变，使弹性片上的触点与导电平台上的传输线接触，使检测柱外侧的报警器在通电后，发出警报，提醒人员出现过大的倾斜角度，使该装置可以对倾斜角度自动进行检测，提升装置的使用可靠性。

技术领域

本发明涉及半导体加工设备技术领域，具体为一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置。

背景技术

圆晶是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶。圆晶是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了圆晶，目前，为了增加硅切片边缘表面机械强度、减少颗粒污染，通常需要进行倒角处理。

现有技术中，为了使圆晶倒角的倒角更加光滑且对称，通常需要将倒角盘设置成一定的角度，使倒角盘倾斜的对圆晶进行倒角，然而倒角盘在旋转的过程中，产生较大的惯性，因此，倒角盘会根据惯性的作用，倾斜的角度增大，过大的倾斜角度则会导致圆晶过度倒角，使圆晶出现损坏。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置，具备自动检测圆晶盘的倾斜角度，且倾斜超过预定值时，自动关闭圆晶盘的输出源的优点，解决了倒角盘在旋转的过程中，产生较大的惯性，因此，倒角盘会根据惯性的作用，倾斜的角度增大，过大的倾斜角度则会导致圆晶过度倒角，使圆晶出现损坏的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置，包括检测柱，所述检测柱的底部固定连接有液体储存柱，所述检测柱的内侧壁固定连接有液压柱，所述液压柱的内侧壁滑动连接有顶杆，所述顶杆的顶端固定连接有永磁体一，所述永磁体一的顶端固定连接有复位弹簧一，所述检测柱的内部中心位置处固定连接有检测支架，所述检测支架的内侧壁滑动连接有滑动块，所述滑动块的一端固定连接有复位弹簧二，所述滑动块的外侧壁铰接有连接杆，所述连接杆的另一端铰接有弹性片，所述弹性片的顶部固定连接有导电平台，所述导电平台的内部固定连接有传输线，所述检测支架的一侧设有滑动轨道，所述滑动轨道的内侧壁滑动连接有横杆，所述横杆的一端与所述滑动块固定连接，所述横杆的另一端固定连接有永磁体二；

所述检测柱的内部固定连接有驱动源，所述驱动源的输出轴固定连接有下离合盘，所述下离合盘的上方活动连接有上离合盘，所述上离合盘的顶部铰接有传动杆，所述传动杆的一端固定连接有电磁铁推杆。

优选的，所述液体储存柱与所述液压柱相互连通，所述液体储存柱的内部填充有液态水，通过设置液态水，使液体储存柱在处于倾斜状态下液态水会由于重力的作用跟随倾斜。

优选的，所述永磁体一由两个磁极组成，所述永磁体一的下端为S极，所述永磁体一的上端为N极。

优选的，所述弹性片的外侧壁固定连接有触点，所述触点共设有两个，两个所述触点参照所述弹性片的中线对称分布触点与传输线接触，形成通路。

优选的，所述永磁体二的磁极为S极，所述永磁体二靠近所述永磁体一的一侧，且所述永磁体二与所述永磁体一相互平行，永磁体一上的S极滑动至靠近永磁体二时，永磁体一与永磁体二相互排斥，永磁体一上的N极滑动至靠近永磁体二时，永磁体一与永磁体二相互吸引。

优选的，所述电磁铁推杆的内部设有两个磁极相同的电磁体，两个电磁体在通电后，相互排斥，使电磁铁推杆的伸缩端向上移动。