[发明专利]一种机械手臂装置及其使用方法、基片处理系统在审
| 申请号： | 202011129932.8 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN114378787A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 孟庆国;李百顺;程实然;冯伟群;朱小庆;胡冬冬;徐康宁;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | B25J5/04 | 分类号： | B25J5/04;B25J18/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 王美章 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种机械手臂装置及其使用方法、基片处理系统，该机械手臂装置位于一用于放置基片的传输真空腔室内，包括由上到下依次平行设置的手臂本体、升降导轨和磁耦式无杆气缸；磁耦式无杆气缸固定于传输真空腔室且连接竖直设置的导向杆，所有导向杆均套设于固定块上；固定块朝向通孔的一侧连接手臂本体；导向杆位于升降导轨的外侧；升降导轨的一端套设于一支撑杆，另一端与一升降气缸的气缸杆连接；升降导轨位于传输真空腔室外；固定块的底面固定一连接杆，连接杆的下端固定一滚动轮；滚动轮与升降导轨接触。本发明可实现取片和放片工序，避免了顶针提升机构对基片造成的摩擦，且运行平稳，降低了基片的损坏率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械 手臂 装置 及其 使用方法 处理 系统 | ||
【主权项】：
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