[发明专利]可调混合装置、控制装置、可调混合系统和可调混合方法在审
| 申请号： | 202011120772.0 | 申请日： | 2020-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN114432957A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 姜哲求;胡艳鹏;李琳;卢一泓 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | B01F35/83 | 分类号： | B01F35/83;B01F35/213;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种可调混合装置、控制装置、可调混合系统和可调混合方法，涉及半导体制造技术领域，以提高温度变化的实时性。所述可调混合装置包括：混合单元和至少两个供液单元，至少两个供液单元均与混合单元连通。至少两个供液单元以不同的流量和/或不同的温度向混合单元供应溶液，以在混合单元中获得具有预设温度的混合溶液。本发明还提供一种控制装置、可调混合系统和可调混合方法。上述可调混合系统包括控制装置，可调混合装置和温度传感器。所述可调混合方法应用于上述可调混合系统。 | ||
| 搜索关键词： | 可调 混合 装置 控制 系统 方法 | ||
【主权项】：
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