[发明专利]可调混合装置、控制装置、可调混合系统和可调混合方法在审

专利信息
申请号: 202011120772.0 申请日: 2020-10-19
公开(公告)号: CN114432957A 公开(公告)日: 2022-05-06
发明(设计)人: 姜哲求;胡艳鹏;李琳;卢一泓 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司
主分类号: B01F35/83 分类号: B01F35/83;B01F35/213;H01L21/67
代理公司: 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 代理人: 王胜利
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 可调 混合 装置 控制 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种可调混合装置,其特征在于,包括混合单元和至少两个供液单元,至少两个所述供液单元均与所述混合单元连通;

至少两个所述供液单元以不同的流量和/或不同的温度向所述混合单元供应溶液,以在所述混合单元中获得具有预设温度的混合溶液。

2.根据权利要求1所述的可调混合装置,其特征在于,每一所述供液单元所具有的溶液输出管路上均设置流量调节件,所述流量调节件用于调整向所述混合单元供应的所述溶液的流量。

3.根据权利要求1所述的可调混合装置,其特征在于,每一所述供液单元向所述混合单元供应的溶液的流量比例均为a,0≤a≤100%。

4.根据权利要求1所述的可调混合装置,其特征在于,每一所述供液单元向所述混合单元供应的溶液的温度均为T,20℃≤T≤180℃。

5.根据权利要求1所述的可调混合装置,其特征在于,每一所述供液单元均包括:

溶液供给装置,用于容纳所述溶液;

以及设置在所述供液单元所具有的溶液输出管路上的动力装置、温度调整装置和流量计。

6.一种控制装置,其特征在于,包括:

通信单元,所述通信单元用于向可调混合装置所包括的至少两个供液单元发送流量控制信号;至少两个所述供液单元用于根据所述流量控制信号向所述可调混合装置所包括的混合单元提供溶液,至少两个所述供液单元向所述混合单元供应的溶液的流量和/或温度不同。

7.根据权利要求6所述的控制装置,其特征在于,所述通信单元还用于接收温度传感器发送的所述混合单元中的所述混合溶液的当前温度;

所述控制装置还包括处理单元,所述处理单元用于根据所述混合溶液的当前温度和预设温度的温度差生成所述流量控制信号。

8.一种可调混合系统,其特征在于,包括控制装置,以及分别与所述控制装置通信连接的可调混合装置和温度传感器;

所述可调混合装置为权利要求1至5任一项所述的可调混合装置;

所述控制装置为权利要求6或7所述的控制装置;

所述温度传感器用于采集所述可调混合装置所包括的混合单元内混合溶液的温度。

9.一种可调混合方法,其特征在于,应用于权利要求8所述的可调混合系统;所述可调混合方法包括:

获取至少两个所述供液单元中的溶液的温度;

控制至少两个所述供液单元以不同的流量和/或不同的温度向所述混合单元供应溶液,以在所述混合单元中获得具有预设温度的混合溶液。

10.根据权利要求9所述的可调混合方法,其特征在于,所述控制至少两个所述供液单元以不同的流量和/或不同的温度向所述混合单元供应溶液,以在所述混合单元中获得具有预设温度的混合溶液包括:

获取所述混合单元中所述混合溶液的当前温度;

根据所述混合溶液的当前温度和预设温度的温度差,分别控制向所述混合单元提供的所述溶液的至少两个供液单元的流量。

11.根据权利要求10所述的可调混合方法,其特征在于,所述根据所述混合溶液的当前温度和预设温度的温度差,分别控制向所述混合单元提供的所述溶液的至少两个所述供液单元的流量包括:

当所述混合溶液的当前温度大于所述预设温度时,调整向所述混合单元提供的使所述混合溶液的当前温度升高的所述溶液的第一当前流量比例,以获得第一目标流量比例,0≤第一目标流量比例≤第一当前流量比例;调整向所述混合单元提供的使所述混合溶液的当前温度降低的所述溶液的第二当前流量比例,以获得第二目标流量比例,第二当前流量比例≤第二目标流量比例;

当所述混合溶液的当前温度小于所述预设温度时,调整向所述混合单元提供的使所述混合溶液的当前温度升高的所述溶液的第三当前流量比例,以获得第三目标流量比例,第三当前流量比例≤第三目标流量比例;调整向所述混合单元提供的使所述混合溶液的当前温度降低的所述溶液的第四当前流量比例,以获得第四目标流量比例,0≤第四目标流量比例≤第四当前流量比例;

当所述混合溶液的当前温度等于所述预设温度时,分别控制向所述混合单元提供的所述溶液的第五当前流量比例保持不变。

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